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沈阳诺思真空技术有限公司

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天成【优质产品】(图)-磁控溅射型号-河南磁控溅射

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王经理

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产品分类

详细信息

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵,磁控溅射设备,可以杜绝油泵中的油气进入真空室,污染基片,降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6。5Pa以下后,再打开闸板阀,用低温泵抽高真空,低温泵的特点是抽速大,尤其是除水蒸汽的能力非常强。


溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。


基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质,可以提高薄膜与基片的附着力,另外对于某些金属,合适的温度能提高薄膜的质量。







低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。


抽气原理

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结,并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力,从而达到抽气作用。





随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,磁控溅射型号,使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统来说,磁控溅射厂家,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,河南磁控溅射,但不能解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。


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